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期刊文章详细信息

经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性  ( EI收录)  

Surface Passivation of Porous Silicon by Si0_x and Al_2O_3 Films *

  

文献类型:期刊文章

作  者:刘小兵[1] 熊祖洪[2] 史向华[1] 袁帅[2] 廖良生[2]

机构地区:[1]长沙电力学院物理系,长沙410077 [2]复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433

出  处:《Journal of Semiconductors》

基  金:国家自然科学基金!(19525410)

年  份:2000

卷  号:21

期  号:1

起止页码:38-43

语  种:中文

收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:在一定偏压下用AlCl3+ C2H5OH+ H2O 混合液对多孔硅进行了后处理.经过处理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比,其发光强且稳定.通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析,指出在后处理样品表面形成的Al2O3 与SiOx 结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因.

关 键 词:多孔硅 光致发光 钝化 氧化铝  氧化硅

分 类 号:TN383.2]

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引证文献:

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同被引文献:

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