期刊文章详细信息
经Al_2O_3与SiO_x钝化的多孔硅及其光致发光特性 ( EI收录)
Surface Passivation of Porous Silicon by Si0_x and Al_2O_3 Films *
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]长沙电力学院物理系,长沙410077 [2]复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433
出 处:《Journal of Semiconductors》
基 金:国家自然科学基金!(19525410)
年 份:2000
卷 号:21
期 号:1
起止页码:38-43
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:在一定偏压下用AlCl3+ C2H5OH+ H2O 混合液对多孔硅进行了后处理.经过处理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比,其发光强且稳定.通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析,指出在后处理样品表面形成的Al2O3 与SiOx 结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因.
关 键 词:多孔硅 光致发光 钝化 氧化铝 氧化硅
分 类 号:TN383.2]
参考文献:
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