文献类型：期刊文章

作　　者：王成兵[1] 王舟[2] 张俊彦[2]

机构地区：[1]兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心,甘肃兰州730070 [2]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：国家自然科学基金(51005110);教育部博士点新教师基金(20096204120002);中国博士后科学基金(20090450846)资助~~

年　　份：2012

卷　　号：32

期　　号：1

起止页码：59-63

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20120714774093)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用脉冲等离子体增强化学气相沉积系统沉积了含氮类金刚石碳薄膜.利用X射线光电子能谱和红外光谱分析了薄膜的化学键状态,在UMT摩擦磨损试验机上考察了薄膜的摩擦学性能,利用扫描电子显微镜分析了摩擦对偶球表面的转移膜形貌.结果表明:随着薄膜中氮含量的增加,薄膜中的sp2C含量增加,硬度有所降低,薄膜的平均摩擦系数先减小后增加.

关 键 词：类金刚石碳薄膜  掺氮 摩擦学 力学  

分 类 号：TG177.44] TH117.3]