文献类型：期刊文章

作　　者：徐斌[1] 伍晓宇[1] 罗烽[1] 杜晨林[2] 孙秀泉[2]

机构地区：[1]深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室,广东深圳518060 [2]深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室,广东深圳518060

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51175348);深港创新圈计划资助项目(No.ZYB200907090135A);广东省教育厅重点实验室开放基金资助项目(No.201002)

年　　份：2012

卷　　号：20

期　　号：1

起止页码：45-51

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20120614748534)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用飞秒激光对厚度为20μm的0Cr18Ni9不锈钢箔进行了表面烧蚀、微细切割等试验,并研究了不锈钢箔的烧蚀特性。首先,根据烧蚀区域的直径和脉冲能量的关系,得到了0Cr18Ni9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阈值,并估算了飞秒激光的束腰半径。然后,对飞秒激光切割不锈钢箔的边缘进行金相观察并测试了切割试件的电阻率,以确定飞秒激光切割对不锈钢箔的热影响。最后,对切割试件进行X射线衍射分析(XRD),以确定飞秒激光切割对不锈钢箔物相组成的影响。实验结果表明:飞秒激光的束腰半径为10.416μm;厚度为20μm的0Cr18Ni9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阈值为0.455J/cm2;飞秒激光切割后试件的金相组织处于回复阶段,因此金相组织不会产生明显变化;飞秒激光切割后不锈钢箔的物相组成没有变化,但物相的相对含量发生了改变。

关 键 词：飞秒激光 激光烧蚀 激光切割 不锈钢箔  X射线衍射分析

分 类 号：TG156.99] TG485]