期刊文章详细信息
用C离子的弹性反冲法测固体中氢分布 ( EI收录)
H DEPTH PROFILING IN SOLID BY ERD WITH C IONS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院物理研究所 [2]中央民族学院物理系
基 金：国家科学基金
年 份：1990
卷 号：24
期 号：3
起止页码：7-12
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：文章介绍了用1.7MV小串列加速器提供的4—7MeV多电荷C离子,采用弹性反冲法(ERD)分析了α-Si:H中氢元素的深度分布。计算表明,近表面处的深度分辨率为15-30nm,可探测深度100—700nm。探讨了入射能量和散射几何条件的优化问题。比较了几种分析方法的测量结果。
关 键 词：小串列 加速器 氢 分布 弹性反冲法
分 类 号：TL52]
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