期刊文章详细信息
基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统研究 ( EI收录)
Research on the micro gas sensor test system based on constant gas-distribution method
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南京工业大学车辆与工程机械研究所,南京210009
基 金:国家自然科学基金(50875122);江苏省自然科学基金(BK2007185);江苏省高校自然科学基金(07KJB460044)资助项目
年 份:2011
卷 号:32
期 号:12
起止页码:2681-2687
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:20120314688607)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:为了安全、方便、可靠地进行气体敏感单元气敏性能测试,设计了一套基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统。根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,给出了恒流配气系统的理论实现公式。设计并制作了安全、可靠、防爆、防泄漏的反应室和基于气体饱和法的加湿装置。基于NI USB 6215系列多功能数据采集卡,以LabVIEW8.5为软件开发平台,开发了微气体传感器测试系统软件控制界面和尾气监控界面。制作了基于SnO2敏感薄膜的气体传感器原型,通过测试系统测得在2 000×10-6 H2浓度时气敏效果最好,灵敏度约24,响应时间约2 s,回复时间约200 s,且在2 000×10-6 H2浓度时,出现了气敏薄膜吸氢饱和现象。实验验证了该测试系统的可靠性。
关 键 词:气体测试系统 恒流配气 加湿装置 反应室
分 类 号:TP212.2]
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