文献类型：期刊文章

作　　者：李瑞君[1,2] 钱剑钊[1] 龚伟[1] 黄强先[1]

机构地区：[1]合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009 [2]安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系,安徽合肥230051

出　　处：《合肥工业大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50875073);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA042409);安徽省教育厅高等学校优秀青年人才基金资助项目(2011SQRL179)

年　　份：2011

卷　　号：34

期　　号：12

起止页码：1761-1763

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、MR、RCCSE、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。

关 键 词：DVD光学读取头  扫描探头  聚焦透镜 数值孔径 量程

分 类 号：TH741.3]