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sol-gel法制备ZAO薄膜的结构与光学性能研究
Structure and optical properties of ZAO thin films prepared by sol-gel method
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]凯里学院物理系,贵州凯里556000
基 金:凯里学院2011年课题资助(No.Z1123)
年 份:2011
卷 号:30
期 号:12
起止页码:27-29
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:采用溶胶–凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,利用XRD、SEM、紫外–可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征,研究了ZAO薄膜的结构和光学性能。结果表明:ZAO薄膜的微晶晶相与ZnO一致,且具有c轴择优取向;ZAO薄膜在可见光区的透过率超过了88%,在350~575 nm范围内有强的发光带。随着Al掺杂量的增加,ZAO薄膜的禁带宽度变大,光吸收边出现蓝移,发射峰强度先变强后变弱;当摩尔比r(Al:Zn)为0.010时,ZAO薄膜的可见光透过率最高,达91%;发射峰强度达46.3。
关 键 词:溶胶-凝胶法 ZAO薄膜 紫外-可见光谱 光致发光(PL)
分 类 号:O484.41]
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