期刊文章详细信息
Parylene真空涂覆新工艺研究
Study on Parylene Vacuum Cladding
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航空工业第631研究所,西安710068
年 份：2002
卷 号：38
期 号：1
起止页码：19-21
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、ZGKJHX、核心刊
摘 要：简述了Parylene真空沉积的机理,并对采用Parylene真空涂覆的涂层样件进行了全面的性能摸底试验。
关 键 词：真空涂覆 工艺 研究
分 类 号：V261.93]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
