期刊文章详细信息
微光机电系统制造工艺综述
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航空工业第六一八研究所,西安710075
年 份：2008
卷 号：44
期 号：2
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。
关 键 词：微光机电系统(MOEMS) 硅微机械加工技术 LIGA技术
分 类 号：TN405]
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