期刊文章详细信息
Sb_2O_3和Bi_2O_3掺量对SnO_2薄膜电阻的影响
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京玻璃研究所
年 份：1990
卷 号：21
期 号：1
起止页码：18-20
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD2011_2012、普通刊
摘 要：利用真空电子束蒸发的方法制备了 SnO_2薄膜,对膜的结构进行了分析,研究了 Sb_2O_3和 Bi_2O_3的掺加对 SnO_2薄膜电阻的影响.并对所得到的结果进行了分析和讨论。
关 键 词：薄膜 电阻 SNO2 SB2O3 BI2O3
分 类 号：TN304.21]
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