期刊文章详细信息
多晶硅定向生长的数值模拟研究
Research on Numerical Simulation for the Directional Growth of Polycrystalline Silicon
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南昌大学机电工程学院,江西南昌330031 [2]新余学院新能源科学与工程学院,江西新余338004 [3]江西省高等学校硅材料重点实验室,江西新余338004
基 金:2009年校级招标课题资助项目(xj0901);2010江西省教育厅科技项目(GJJ10647)
年 份:2011
卷 号:32
期 号:10
起止页码:1368-1371
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:利用多物理场有限元软件COMSOL Multiphysics3.5(a)对多晶硅定向凝固过程进行数值模拟,获得了定向凝固过程中加热熔化和结晶过程的温度场分布。通过对模拟结果的分析,得到了多晶硅熔化过程温度分布和结晶时固液界面形状,为后续生产实践中工艺方案的优化及缺陷分析等提供重要的理论依据。
关 键 词:多晶硅 定向凝固 数值模拟 温度场
分 类 号:TN304.12]
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