期刊文章详细信息
多晶硅尾气回收工艺研究进展
Research progress on polycrystalline silicon tail gas recovery technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]南京大学固体微结构物理国家重点实验室,江苏南京210093
年 份：2011
卷 号：47
期 号：9
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：综述多晶硅尾气回收工艺和方法,探讨新型膜分离技术在多晶硅尾气回收中的应用前景。
关 键 词：多晶硅 尾气 膜分离技术
分 类 号：TQ127.2]
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