文献类型：期刊文章

作　　者：苏雷龙[1] 蒋书波[1] 程明霄[1] 何野[2] 徐波[3] 李晟[3]

机构地区：[1]南京工业大学自动化与电气工程学院精密仪器研究所,江苏南京211816 [2]南京工业大学高技术研究院,江苏南京211816 [3]江苏英特神斯科技有限公司,江苏南京211816

出　　处：《传感器与微系统》

年　　份：2011

卷　　号：30

期　　号：10

起止页码：120-122

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中,对于气体检测是可行的,并且能够使仪器做到便携式。

关 键 词：MEMS微镜  气体分析 便携式  近红外光谱仪

分 类 号：TP212.2]