期刊文章详细信息
激光设备在非晶硅薄膜太阳能电池生产线中的应用
Application of Laser Equipment in Product Line of a-Si Film Solar Battery
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京清大天达光电科技有限公司,北京101204
年 份：2011
期 号：5
起止页码：19-20
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：激光设备是太阳能生产线中的关键设备之一,叙述了激光设备在非晶硅薄膜太阳能电池生产线,指出,稳定、精确是激光刻划设备今后的重点发展方向。
关 键 词：激光设备 TCO薄膜 PECVD 非晶硅薄膜太阳能电池
分 类 号：TM914]
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