期刊文章详细信息
物理气相沉积技术的研究进展与应用
Application and Development of Physical Vapor Deposition Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]兰州石化职业技术学院机械工程系,甘肃兰州730060
年 份：2011
期 号：4
起止页码：214-216
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了物理气相沉积技术的新工艺、新进展及其特点,总结了物理气相沉积技术的一些新应用。指出特殊功能复合膜的制备、复合膜的研究与应用以及超硬膜制备将是物理气相沉积技术今后研究的重点。
关 键 词：物理气相沉积 沉积 薄膜
分 类 号：TG174.444]
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