期刊文章详细信息
微硅加速度传感器的发展
The Develspment of Silicon Micro accelerometer
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096
年 份：1999
卷 号：22
期 号：4
起止页码：292-298
语 种：中文
收录情况：CAS、INSPEC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十年代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析，指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。
关 键 词：加速度计 传感器 微硅
分 类 号：TH824.4[仪器类]
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