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SnO_2薄膜的湿敏效应
Study of Humid Sensitivity of SnO_2 Film Prepared by Spray Pyrolysis
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京大学微电子学研究所,北京100871 [2]北京石油化工学院基础部,北京102600 [3]中国科学院新疆物理所,乌鲁木齐830011
年 份：1999
卷 号：24
期 号：6
起止页码：42-44
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜， 发现其在３２５℃时已晶化， 得到四方相多晶ＳｎＯ２。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明， 较高湿度区阻值随湿度变化近似线性， 从高湿到低湿平均为每上升１％ ＲＨ， 阻值下降８．８Ω， 响应速度小于１ 分钟，
关 键 词：SNO2薄膜 湿敏效应 半导体薄膜
分 类 号：TN304.21] O484.5]
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