文献类型：期刊文章

作　　者：钟志有[1] 顾锦华[2] 何翔[1] 孙奉娄[1] 陈首部[1]

机构地区：[1]中南民族大学电子信息工程学院,武汉430074 [2]中南民族大学计算与实验中心,武汉430074

出　　处：《中南民族大学学报（自然科学版）》

基　　金：湖北省自然科学基金资助项目(2009CDB166);中南民族大学学术团队基金资助项目(XTZ09003)

年　　份：2011

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：64-69

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA-PROQEUST、IC、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：以氧化锌铝陶瓷靶为溅射源,采用射频磁控溅射方法制备了铝掺杂氧化锌(AZO)无铟透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、分光光度计和四探针仪等测试分析,研究了基板温度对薄膜晶体结构、力学和光电性能的影响.结果表明:所制备的AZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并具有(002)择优取向,其晶体结构、残余应力、方块电阻、光学带隙以及优良指数等都与基板温度相关,当温度为400℃时,AZO薄膜的优良指数最大(0.40-Ω1),具有最好的光电综合性能.

关 键 词：有机太阳能电池 电极  光电性能

分 类 号：TM914]