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多元超硬膜TiAlN的制备及其组织性能研究
Study on Manufacture and Structure and Properties of the Multi components Super Hard TiAlN Films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南京航空航天大学材料科学与工程系,江苏南京210016
基 金：江苏省应用基础研究基金
年 份：1999
卷 号：28
期 号：6
起止页码：22-23
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用空心阴极离子镀方法，分别以Ｔｉ＋ Ａｌ％ 和ＴＣ４作为蒸发材料，在高速钢表面沉积ＴｉＡｌＮ多元超硬膜。结果表明，该镀膜工艺可行，制备出的ＴｉＡｌＮ膜层性能优异，即硬度高、膜层与基体之间结合良好。文中还对膜层的微观组织结构进行了分析。
关 键 词：离子镀 TIALN 制备 组织 性能 表面强化
分 类 号：TG146.2[材料类] TG178]
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