文献类型：期刊文章

作　　者：陶素连[1,2] 汤勇[1]

机构地区：[1]华南理工大学机械与汽车工程学院∥表面功能结构先进制造广东普通高校重点实验室,广东广州510640 [2]广东水利电力职业技术学院机械系,广东广州510635

出　　处：《华南理工大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50930005);NSFC-广东省人民政府自然科学联合基金重点资助项目(U0834002)

年　　份：2011

卷　　号：39

期　　号：6

起止页码：29-35

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对当前微电子芯片的高热流密度问题,设计了一种具有复合毛细芯结构的热柱.其成形工艺为利用犁切-挤压的方法加工热柱蒸发端和冷凝端表面的交错微沟槽,然后在微沟槽表面烧结一层铜纤维.文中通过综合分析热柱毛细芯的成形过程,研究犁切-挤压参数对热柱蒸发端微沟槽成形的影响,以及烧结参数对烧结层的影响.结果表明:在热柱毛细芯微沟槽的成形过程中,犁切-挤压深度和沟槽间距共同决定了微沟槽的形貌;犁切-挤压深度越大,微沟槽表面形貌越好;沟槽间距只有在一定范围内时才能形成较好的表面形貌;当径向自动进给量为0.45mm/r、径向微沟槽夹角为3°、螺旋状与径向犁切-挤压深度均为0.3mm时,可获得最优的蒸发沸腾微沟槽结构;当螺旋状犁切-挤压深度为0.3mm、自动进给量为0.50mm/r、轴向微沟槽间距为(1/180)rad时,可获得最优的冷凝强化微沟槽结构;当烧结温度为950℃、烧结时间为60m in、升温速率为5℃/s时,烧结层的烧结性能最优,和管壁结合的能力最强.

关 键 词：热柱 成形工艺  微沟槽  毛细芯 烧结  铜纤维

分 类 号：TN305.94] TG506]