文献类型：期刊文章

作　　者：李立艳[1] 吴冰[1] 苑勇贵[1] 魏勇[1] 杨军[1] 苑立波[1]

机构地区：[1]哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《光学学报》

基　　金：国家自然科学基金(60807032;60877046);黑龙江省自然科学基金重点项目(ZD200810);中央高校基础科研业务费专项基金(HEUCFZ1020)资助课题

年　　份：2011

卷　　号：31

期　　号：7

起止页码：239-245

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20113114199175)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置,实现干涉仪偏振态的超前调整,补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。构建干涉仪非线性误差在线检测装置进行实验研究。结果表明,通过被动补偿方法集成的干涉仪输出信号的交直流抑制比大于500,非线性正交相移m减小至0.003 rad(0.15 nm)。通过连续24 h的稳定性测量实验可知,参数m变化幅度在0.024 rad(1.21 nm)内,极大地抑制了干涉仪的非线性误差。

关 键 词：测量  激光干涉 非线性误差  被动补偿  纳米测量  

分 类 号：TH741]