期刊文章详细信息
多重拖动分子泵的原理,性能和应用
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]深圳大学物理系 [2]合肥工业大学
年 份：1999
卷 号：19
期 号：A10
起止页码：45-48
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CSCD、CSCD_E2011_2012、核心刊
摘 要：介绍一种新颖拖动分子泵的工作原理、性能及其应用。该泵结构简单，抽气流量和入口压强比涡轮分子泵高１００倍，抽速拉近涡轮分子泵，粘滞损耗比罗茨泵低得多。最后还讨论了新泵的发展趋势。
关 键 词：多重拖动 分子泵 原理 性能 应用 涡轮泵
分 类 号：TB752.27]
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