文献类型：期刊文章

作　　者：张金龙[1] 刘阳[1] 郭怡倩[1] 刘京南[2] 内田敬久[3]

机构地区：[1]南京师范大学电气与自动化工程学院,南京210042 [2]东南大学自动化学院,南京210096 [3]爱知工业大学智能机械工学科,日本丰田470-0392

出　　处：《机械工程学报》

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划,2005AA303610);江苏省自然科学基金(BK2009406)资助项目

年　　份：2011

卷　　号：47

期　　号：9

起止页码：187-192

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112314043677)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有机结合,可实现纳米级超精密自动定位。定位装置采用串联型粗、微双驱动的精密定位系统,粗动台由步进电动机通过精密丝杠机构直接驱动,可实现大行程微米级定位,微动台由压电陶瓷驱动器驱动,可实现纳米级定位。针对系统存在非线性、时变性,经典PID控制无法达到理想控制效果的缺陷,提出基于BP神经网络的精密定位智能控制,可有效改善定位系统的动、静态性能,提高重复精度。试验结果表明,精密定位台的工作行程可达50 mm,定位精度为±10 nm,定位时间小于30 s。

关 键 词：莫尔信号 纳米定位  神经网络 智能控制

分 类 号：TP274]