期刊文章详细信息
真空镀膜玻璃技术的新成就
NEW ACHIEVEMENT IN THE FIELD OF TECHNOLOGY ABOUT COATED GLASS WITH MAGNETRON SPUTTERING
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳金博真空工程有限公司,沈阳110014
年 份：1999
卷 号：5
期 号：4
起止页码：229-232
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：孪生磁控和旋转磁控阴极相对于平面磁控阴极的优势及对镀制Ｌｏｗ － Ｅ 膜及ＩＴＯ
关 键 词：旋转磁控阴极 ITO 真空通道 真空镀膜玻璃
分 类 号：TQ171.724]
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