期刊文章详细信息
浅析洁净室洁净度的污染源及其控制方法
Analysis on Contamination Sources & Control Method to Cleanroom Cleanliness
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东省济南半导体元件实验所 [2]山东电力工程咨询院有限公司
年 份：2011
期 号：2
起止页码：79-82
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：洁净室的洁净度在日常运行管理中十分重要。在洁净室内空气污染源及其传播途径分析的基础上,提出相应的切实可行的控制方法,以保证洁净室洁净度持续处于受控状态。
关 键 词：洁净室 洁净度 空气污染源 控制方法
分 类 号：TM925.16]
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