文献类型：期刊文章

作　　者：符晓荣[1] 武光明[2] 宋世庚[3] 宋志棠[1] 高剑侠[1] 林成鲁[1]

机构地区：[1]中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050 [2]北京石油化工学院基础部,北京102600 [3]中国科学院新疆物理研究所,乌鲁木齐830011

出　　处：《功能材料与器件学报》

年　　份：1999

卷　　号：5

期　　号：3

起止页码：235-239

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：用简单的压缩空气式喷雾热分解法以醋酸镁为原料在Ｓｉ（１００） 衬底上成功地制备了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。结果表明，为获得（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜，衬底温度和喷雾速率是关键因素。控制实验条件，在６０００Ｃ得到了（１００） 取向的ＭｇＯ 薄膜。同时，用Ｘ 射线衍射（ＸＲＤ） 、原子力显微镜（ＡＦＭ） 和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析。

关 键 词：氧化镁 薄膜  喷雾热分解 制备  集成器件  

分 类 号：TN405] O484.1]