期刊文章详细信息
高耐温精密冷反光镜研制
Research on Precision Cold Reflector with High Temperature Stability
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]沈阳仪表科学研究院 [2]沈阳汇博光学技术公司,辽宁沈阳110043
年 份：2011
卷 号：24
期 号：2
起止页码：47-50
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：高耐温精密冷反光镜是应用于影像光学系统的一种常用光学元件,它具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的特点。本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料,利用电子束热蒸发物理气相沉积镀膜方法及离子辅助沉积工艺,制备出了可见光光谱平均反射率高于95%、红外光光谱平均透过率高于85%,膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品,并实现了批量生产。
关 键 词：冷反光镜 离子辅助沉积 真空镀膜 高耐温性
分 类 号：TN216]
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