文献类型：期刊文章

作　　者：高宏刚[1] 王建明[2]

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022 [2]中国科学院北京物理所,北京100081

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金

年　　份：1999

卷　　号：7

期　　号：5

起止页码：80-84

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料，其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别。我们使用这种材料配制的抛光液对ＹＶＯ４ 晶体进行了超精密抛光的初步实验，获得了具有较低表面粗糙度（＜ １ ｎｍ ）的表面，发现了纳米金刚石作为抛光材料的独特之处。本文描述了实验结果，分析了抛光表面，并总结了纳米金刚石粉的抛光特性。

关 键 词：抛光 金刚石 纳米材料 光滑表面  

分 类 号：TQ171.684] TG580.692]