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数控抛光中不同运动方式下小抛光盘抛光特性之比较 ( EI收录)
Polishing Performance Comparison of Small Polishing Pad Worked in Different Motion Model in Computer Controlled Optical Polishing
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春130022 [2]成都精密光学工程研究中心,成都610041
年 份：1999
卷 号：7
期 号：5
起止页码：73-79
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：阐述行星运动与平转动两种运动方式下数控抛光中小抛光盘的工作函数，论述了抛光盘本身在不同运动方式下的材料磨损情况。通过采用计算机对抛光盘工作函数及磨损曲线的模拟将抛光盘的两种运动方式进行了分析与比较。
关 键 词：数控抛光 工作函数 行星运动 光学元件 小抛光盘
分 类 号：TH740.6] TQ171.684[仪器类]
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