文献类型：期刊文章

作　　者：刘红飞[1] 张志萍[2] 张伟[1] 陈小兵[1] 程晓农[3]

机构地区：[1]扬州大学物理学院,扬州225009 [2]江海学院,扬州225101 [3]江苏大学材料科学与工程学院,镇江212013

出　　处：《无机材料学报》

基　　金：国家自然科学基金(50372027);江苏省高校自然科学重大基础研究项目(06KJA43010);扬州大学人才引进项目(0274640015427)~~

年　　份：2011

卷　　号：26

期　　号：5

起止页码：540-544

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI(收录号：20112414057964)、IC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000291172000018)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000291172000018)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用脉冲激光沉积法在石英基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)研究了不同衬底温度对薄膜结构组分、表面粗糙度和形貌的影响,用台阶仪和分光光度计测量薄膜的厚度和不同衬底温度下制备薄膜的透射曲线,用变温XRD分析了ZrW2O8薄膜的负热膨胀特性.实验结果表明:在衬底温度为室温、550℃和650℃下脉冲激光沉积的ZrW2O8薄膜均为非晶态,非晶膜在1200℃保温3min后淬火得到立方相ZrW2O8薄膜;随着衬底温度的升高,ZrW2O8薄膜的表面粗糙度明显降低;透光率均约为80%,在20～600℃温度区间内,脉冲激光沉积制备的ZrW2O8薄膜的负热膨胀系数为-11.378×10-6 K-1.

关 键 词：钨酸锆 薄膜  脉冲激光沉积 负热膨胀 透射率

分 类 号：O484] TB43[物理学类]