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溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜工艺研究
TECHNOLOGY RESEARCH ON SILICA FILM PREPARATION BY Sol-gel METHOD
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]唐山陶瓷股份有限公司,唐山063020
年 份：2011
卷 号：47
期 号：6
起止页码：25-27
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：以正硅酸乙酯为前驱体,以溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶并且采用提拉法在玻璃基片上制备二氧化硅薄膜。研究了反应过程中反应温度、反应时间、催化剂、乙醇和水的加入量对溶胶性质和成膜性能的影响,研究了提拉速度和焙烧温度对二氧化硅薄膜润湿性能的影响。实验结果表明,适宜的反应条件为:反应物的摩尔比TEOS∶EtOH∶H2O=1∶1.5∶1.0,反应温度70℃,pH=3,反应时间1h,薄膜适宜的焙烧温度为450℃。所制备出的二氧化硅薄膜均匀透明,润湿性能良好。
关 键 词：溶胶-凝胶法 二氧化硅薄膜 润湿性能
分 类 号：TB383[材料类]
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