文献类型：期刊文章

作　　者：吴文娟[1,2] 张松[1,2] 张立元[2] 覃榆森[2] 季静佳[2,3] 顾晓峰[4] 李果华[1,3]

机构地区：[1]江南大学理学院,江苏无锡214122 [2]尚德电力控股有限公司太阳电池研发部,江苏无锡214028 [3]江苏省(尚德)光伏技术研究院,江苏无锡214028 [4]江南大学物联网工程学院,江苏无锡214122

出　　处：《硅酸盐学报》

基　　金：教育部留学回国人员科研启动基金教外司留([2008]890)资助项目

年　　份：2011

卷　　号：39

期　　号：5

起止页码：863-867

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112714112278)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfate,SDS)或Na2SiO3作为表面活性剂,用四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide,TMAH)/异丙醇(isopropyl alcohol,IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面。研究去除硅表面的切割损伤层、溶液中的TMAH含量、腐蚀时间和温度,以及加入SDS对绒面的影响。结果表明:制绒前对硅片的清洗和去损伤层不利于高效率制绒;硅片在含有2%(质量分数,下同)TMAH/5%IPA的腐蚀液,80℃恒温腐蚀10 min即可制备均匀的具有金字塔结构的减反射绒面;腐蚀液中加入硅酸钠和SDS可以减小金字塔尺寸,降低表面反射率,提高绒面的质量。

关 键 词：四甲基氢氧化铵 各向异性腐蚀 太阳能电池 硅制绒  

分 类 号：TK514]