期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京石油化工学院基础部,北京102600 [2]中国科学院上海冶金所
年 份:1999
卷 号:30
期 号:6
起止页码:631-632
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:本文采用非金属醇盐以醋酸镁为起始原料,胶棉液为添加剂,在Si(100) 衬底上成功地制备了MgO 薄膜。结果表明,薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关。同时,用X射线衍射( XRD) 、原子力显微电镜(AFM) 和透射电镜( TEM) 对薄膜的微观结构进行了分析。这种制备MgO 薄膜的新方法还未见有报道。
关 键 词:薄膜 溶胶-凝胶法 制备 氧化镁
分 类 号:O484] O614.22[物理学类]
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