文献类型：期刊文章

作　　者：张广安[1,2] 王立平[1] 刘千喜[2] 薛群基[1]

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所剧体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000 [2]仪征双环活塞环有限公司,江苏仪征211400

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z105);国家自然科学基金项目(50823008)资助~~

年　　份：2011

卷　　号：31

期　　号：2

起止页码：181-186

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112013990387)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAlN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为面心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体;CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构.复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高,在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力,能够有效阻止裂纹,抗摩擦磨损性能较CrN薄膜均有不同程度的提高.

关 键 词：复合材料 CrN基薄膜  结构:摩擦磨损  

分 类 号：TH117.3]