期刊文章详细信息
光学薄膜厚度的监控
The monitoring control of optical thin film thickness
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安工业学院仪器工程系
基 金：兵器工业科研基金
年 份：1999
卷 号：19
期 号：2
起止页码：87-90
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：提出了一种多层１／４波长膜系的薄膜厚度监控方法．利用这种方法可以在监控过程的同时得到膜层的光学常数且具有监控精度高的优点．
关 键 词：监控 薄膜 厚度 光学常数 光学薄膜
分 类 号：O484.5]
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