期刊文章详细信息
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]安徽光电技术研究所,合肥230031
年 份:1999
卷 号:12
期 号:5
起止页码:16-19
语 种:中文
收录情况:普通刊
摘 要:本文从评价圆柱状金属膜电阻器激光刻螺线槽槽纹质量, 分析槽纹误差产生的原因,
关 键 词:金属膜电阻器 激光刻槽 槽纹质量
分 类 号:TM544.4]
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