文献类型：期刊文章

作　　者：李立艳[1] 王坚[1] 韩春阳[1] 苑勇贵[1] 吴冰[1] 杨军[1] 苑立波[1]

机构地区：[1]哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家自然科学基金(60807032;60877046);中央高校基础科研业务费专项基金(HEUCFZ1020);黑龙江省自然科学基金重点项目(2D200810)资助课题

年　　份：2011

卷　　号：38

期　　号：4

起止页码：187-192

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112114001795)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。

关 键 词：测量  激光干涉仪 纳米测量  差动干涉  光路集成化  

分 类 号：TH744.3]