文献类型：期刊文章

作　　者：石澎[1,2] 付秀华[1] 孙岩[1] 魏孜洵[1] 梅禹珊[1]

机构地区：[1]长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022 [2]中山火炬职业技术学院光电工程系,广东中山528436

出　　处：《中国激光》

基　　金：吉林省科技发展计划(20086012)资助课题

年　　份：2011

卷　　号：38

期　　号：4

起止页码：182-186

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112114001794)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对军用光电仪器对激光致盲武器的防护要求,选取Si和YbF3,ZnS和YbF3两种高低折射率组合形式研制了激光防护减反膜。在多光谱ZnS基底上,采用电子束及离子辅助沉积技术,制备了能够对532 nm和1064 nm激光进行有效防护,同时对3~5μm的波段具有高透射率的薄膜。对Si膜的电子束沉积工艺进行了研究;对YbF3在不同的材料组合中的沉积工艺进行了优化;解决了膜层与基底之间的粘附性问题。该薄膜集探测用减反器件和防护器件于一体,可以使星载、机载等光电仪器的结构得到简化;光谱分析和环境测试的结果表明,各项指标满足使用要求。

关 键 词：薄膜  激光防护 离子辅助沉积 红外减反膜  

分 类 号：TN977]