文献类型：期刊文章

作　　者：刘晓为[1] 尹亮[1] 李海涛[1] 周治平[1]

机构地区：[1]哈尔滨工业大学微电子技术与科学系,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA04220)

年　　份：2011

卷　　号：19

期　　号：3

起止页码：580-586

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20112013987367)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种用于电容式微加速度计的低噪声、高线性度全差分接口电路。基于开关电容检测技术,该电路采用一种新的双路反馈结构来提高系统线性度,并采用2μmn阱CMOS工艺完成芯片设计。仿真结果证明,电路中采用的双路反馈和全差分检测结构使系统的线性度达到0.01%。加入经过优化设计的比例-微分-积分控制器后,有效减小了系统稳态误差,系统响应速度提高了31%,系统线性度提高了66.7%。在±5 V工作电压下,选取64 kHz作为电路采样频率时,其电路等效输入噪声为8μg·Hz-1/2,系统灵敏度为1.22 V/g,线性度为0.03%,测量范围为±2g。测试结果显示,提出的电路达到高精度微加速度计系统设计要求,可以应用到地震监测、石油勘探等领域中。

关 键 词：闭环电容式微加速度计  全差分接口电路  比例-微分-积分控制器  低噪声 高线性度

分 类 号：TH824.4[仪器类] TN432]