文献类型：期刊文章

作　　者：宋国庆[1] 林金秋[2] 张莉新[1] 邹向光[1]

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第49研究所 [2]中国人民解放军95862部队

出　　处：《传感器世界》

年　　份：2011

卷　　号：17

期　　号：3

起止页码：20-23

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器。以圆形C面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性。第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改善灵敏度的一致性,但是它以降低传感器的灵敏度为代价的;第二种方法是在圆形基片表面中央区加工一个半球形凹槽,并且在该下凹区内不制作金属电极,能够牺牲很小的灵敏度或不降低灵敏度,换取较大的线性度提高和灵敏度一致性的改善。

关 键 词：电容式压力传感器 蓝宝石单晶  C面(0001)取向蓝宝石  R面(1  102)取向蓝宝石  半球形凹槽  中央电极内的无电极区  

分 类 号：TP212]