文献类型：期刊文章

作　　者：王新[1,2] 穆宝忠[1,2] 黄怡[1,2] 翟梓融[1,2] 伊圣振[1,2] 蒋励[1,2] 朱京涛[1,2] 王占山[1,2] 刘红杰[3] 曹磊峰[3] 谷渝秋[3]

机构地区：[1]同济大学物理系,精密光学工程技术研究所,上海200092 [2]上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海200092 [3]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家自然科学基金项目(10825521,10773007);上海市科学技术委员会科研计划项目(0952nm06900)

年　　份：2011

卷　　号：23

期　　号：3

起止页码：647-651

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20111613926436)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜,制作了Schwarzschild显微镜光学元件,镀制的膜系周期厚度为9.509 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验,实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3μm,600μm内视场的分辨力为5μm。

关 键 词：Schwarzschild显微镜  激光等离子体 MO/SI多层膜 空间分辨力  

分 类 号：O434.1]