文献类型：期刊文章

作　　者：于威[1] 张连珠[1] 李晓苇[1] 韩理[1] 陈艳梅[1] 傅广生[1]

机构地区：[1]河北大学物理系,保定071002

出　　处：《物理学报》

基　　金：河北省自然科学基金

年　　份：1999

卷　　号：48

期　　号：9

起止页码：1701-1708

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：采用蒙特卡罗模拟对氮气辉光放电等离子体阴极鞘层内离子（ Ｎ２ ＋ ， Ｎ＋ ） 和快中性分子（ Ｎ２ｆ） 的输运过程进行了研究，计算了阴极鞘层中离子（ Ｎ２ ＋ ， Ｎ＋ ） 和快中性分子的能量及角分布的空间变化，较好地解释了实验结果．得到了氮气辉光放电等离子体阴极附近主要存在着能量较低的荷能分子、密度较低的高能原子离子及密度和能量居中的分子离子．诸粒子状态随放电条件而变化．模拟结果为分子气体辉光放电等离子体过程的机理的认识提供了参考依据．

关 键 词：氮气 等离子体 辉光放电 鞘层 粒子输运

分 类 号：O53]