期刊文章详细信息
多孔Al_2O_3湿度传感器的湿敏电容理论模型
Humidity Response Capacitance Model of Porous Al 2O 3 Humidity Sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]广州市光机电工程研究开发中心,广州510630 [2]中山大学
年 份：1999
卷 号：18
期 号：4
起止页码：11-14
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD2011_2012、普通刊
摘 要：建立了一种新型的多孔 Ａｌ２ Ｏ３ 湿度传感器湿敏电容模型，以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。
关 键 词：湿敏电容模型 湿度传感器 多孔三氧化二铝
分 类 号：TH765.5[仪器类] TP212]
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