期刊文章详细信息
不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究
Study of Transparent Conducting ZnO∶Al Films Prepared on Different Organic Substrate
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]山东大学物理系,250100 [2]山东大学光电材料与器件研究所,250100 [3]淄博学院基础部,255200
基 金：国家自然科学基金
年 份：1999
卷 号：24
期 号：3
起止页码：1-4
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：用射频磁控溅射法在不同的有机衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的 Ｚｎ Ｏ∶ Ａｌ的透明导电膜，并研究了薄膜的结构、电学和光学特性。
关 键 词：磁控溅射 有机衬底 透明导电膜 AZO
分 类 号：TN305.92] TN304.055
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