文献类型：期刊文章

作　　者：张蜡宝[1] 康琳[1] 陈健[1] 赵清源[1] 郏涛[1] 许伟伟[1] 曹春海[1] 金飚兵[1] 吴培亨[1]

机构地区：[1]南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所,南京210093

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家重点基础研究发展计划(批准号:2011CBA00200;2007CB310404);国家自然科学基金(批准号:10874074)资助的课题~~

年　　份：2011

卷　　号：60

期　　号：3

起止页码：790-796

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000288925700119)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：利用磁控溅射、电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术,开展了超导纳米线单光子探测器(SNSPD)的研究.通过对SNSPD的设计和制备工艺参数的优化,成功制备出了高质量的SNSPD.单光子检测实验表明,制备的SNSPD对660nm波长的光信号,系统检测效率可达30%,对1550nm波长光信号,最大系统检测效率为4.2%.在平均暗计数小于10c/s的情况下,系统检测效率大于20%(660nm)和3%(1550nm).

关 键 词：单光子 氮化铌  纳米线 探测器

分 类 号：O572.212]