文献类型：期刊文章

作　　者：丁芃[1] 刘发民[1] 杨新安[2] 李建奇[2]

机构地区：[1]北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,微纳测控与低维物理教育部重点实验室,北京100191 [2]北京凝聚态物理国家实验室,中国科学院物理研究所,北京100190

出　　处：《物理学报》

基　　金：北京航空航天大学博士研究生创新基金(批准号:292122)资助的课题~~

年　　份：2011

卷　　号：60

期　　号：3

起止页码：515-522

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000288925700078)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：利用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了TiO2薄膜,并对其进行了Co离子注入,最后在真空中500℃退火50min,得到系列薄膜样品.利用剥离-分散方法制备了薄膜的透射电镜样品,并用扫描电镜(SEM)、X射线能量散射谱(EDX)和高分辨透射电镜(HRTEM)对样品做了近似原位观察,研究了薄膜样品中不同Co离子注入深度的成分分布和显微结构.结果表明,薄膜呈锐钛矿结构,Co元素主要分布在薄膜表层,Co离子的注入使TiO2薄膜的晶粒被部分破坏,并形成CoO,而500℃退火处理可以修复被破坏的晶粒,促进薄膜更好地结晶并且使CoO融和到TiO2晶格中.振动样品磁强计(VSM)测试结果表明,Co离子注入TiO2薄膜在室温下表现铁磁性,真空中的退火处理可以使其铁磁性增强,铁磁性可以用结合磁极子(bound magnetic polaron,BMP)理论来解释.

关 键 词：Co注入TiO2薄膜  电镜原位观察  室温铁磁性

分 类 号：O484.43]