文献类型：期刊文章

作　　者：刘汉法[1] 张化福[1] 郭美霞[1] 史晓菲[1] 周爱萍[1]

机构地区：[1]山东理工大学理学院,淄博255049

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)

年　　份：2011

卷　　号：31

期　　号：1

起止页码：95-99

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20111213783995)、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响。结果表明,衬底温度对TZO薄膜的结构、应力和电阻率有重要影响。TZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。在衬底温度为100℃时,实验获得的TZO薄膜电阻率具有最小值2.95×10-4Ω.cm,400℃时薄膜出现孪晶,随着温度的升高,薄膜应力具有减小的趋势。实验制备的TZO薄膜附着性能良好,可见光区平均透过率都超过91%。

关 键 词：ZnO∶Ti薄膜  透明导电薄膜 衬底温度 磁控溅射

分 类 号：O484.1]