期刊文章详细信息
基于热膨胀效应的微执行器进展
Advance in Microactuators Based on Thermal Expansion Effect
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096
基 金：教授部优秀年轻教师基金
年 份：1999
卷 号：22
期 号：3
起止页码：162-170
语 种：中文
收录情况：CAS、INSPEC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：本文首先分析了热驱动微执行器的基本原理及其相对于静电驱动、磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构（线性热膨胀结构、冲击驱动结构、双变体（Ｂｉｍ ｏｒｐｈ）结构、弯曲梁结构以及热空气结构）的原理、特点，它们的某些典型应用也随后作了介绍。最后对热驱动微执行器计算机辅助设计的前景进行了展望。
关 键 词：微电子机械系统 热膨胀 微执行器
分 类 号：TM571.6] TH－39[机械类]
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