文献类型：期刊文章

作　　者：邵慧慧[1,2] 李树强[1,2] 曲爽[1,2] 李毓锋[2] 王成新[2] 徐现刚[1,2]

机构地区：[1]山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100 [2]山东华光光电子有限公司,济南250101

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金(No.50721002;50802053)资助项目;国家高技术研究发展计划(863)(2007AA03Z405)资助项目;教育部科技创新工程重大项目(No.707039)

年　　份：2010

卷　　号：39

期　　号：6

起止页码：1443-1445

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2008、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20110313601199)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用湿法腐蚀方法,制备出图形化蓝宝石衬底(PSS)。在相同的腐蚀时间下,研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响。扫描电镜(SEM)测试结果表明:随着腐蚀液温度的增加,图形的深度增加。腐蚀后图形阵列排布整齐,所有图形都方向一致,这与蓝宝石本身晶体性质有关。腐蚀液温度对外延后GaN的影响也比较大,随着腐蚀液温度的增加,(002)半峰宽逐渐增加,光致发光谱(PL)发光强度逐渐增加。管芯结果表明,LED管芯的光强也逐渐增加。

关 键 词：湿法腐蚀 蓝宝石图形衬底 GAN 外延层

分 类 号：O611]