文献类型：期刊文章

作　　者：王金合[1,2] 费立诚[1] 宋志棠[2] 张静[1] 周为民[1] 张剑平[1]

机构地区：[1]上海市纳米科技与产业发展促进中心纳米加工技术实验室,上海200237 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室,上海200050

出　　处：《微纳电子技术》

年　　份：2010

卷　　号：47

期　　号：12

起止页码：722-730

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2008、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：总结了纳米压印技术的最新进展,其中包括压印工艺、图形赋形方法以及纳米压印技术应用三方面最新的研究成果。在压印工艺的发展方面,大面积滚轴压印的发明最具有产业化意义,它不仅解决了常规平板压印很难大面积压印成型的困难,而且整个过程是一种柔性压印过程,降低了成本,提高了压印效率,但是最小特征尺寸还有待提高;在图形赋形方法的改进中,聚合物探针阵列技术集微米和纳米成型技术于一身,压印效率高,应用前景广阔;在压印技术应用的发展中,光伏电池、电子存储设备以及传感器等为纳米压印技术的应用提供了新的领域。

关 键 词：纳米压印技术 大面积滚轴压印  聚合物探针阵列  光伏电池 交叉电极阵列  

分 类 号：TH703[仪器类]